微电子固态无线电的微型机械调谐器

发布时间:2020/6/1 22:42:56 访问次数:690

XENSIV MEMS麦克风突破音频链限制，语音用户界面主要着眼于语音输入和响应这些核心功能。随着语音用户技术的更新迭代和用户期望的不断提升，这些功能已经无法满足需求。例如，用户希望即使是在轻声细语或者转换房间时，设备也能精准地理解其指令。

英飞凌的XENSIVTM MEMS麦克风引入了全新性能基准，并且打破了当前的音频链限制。IM69D130专为需要低自噪声（高SNR）、宽动态范围、低失真和高声学过载点的应用而设计。该解决方案支持远场和柔性音频信号拾取，可实现对声束的精确控制，并涵盖在VUI应用中日益频繁使用的其他高级音频算法。此外，还可选择不同功率模式以适应特定的电流消耗要求，如电池供电型音箱。

特点

内置NPN功率三极管

自供电结构：无需辅助绕组

LED输出电流精度：±3%

高效率：最高可达93%以上

输出电流：小于250mA

电流模PWM控制

固定工作频率

抖频功能

内置环路补偿、斜坡补偿

LED开路/短路保护

芯片供电欠压保护

MEMS技术采用光刻、沉积和蚀刻等标准半导体制造工艺，生产出从小于1微米到几毫米不等的微型机电元件。发明了第一款MEMS器件，这是一种用于微电子固态无线电的微型机械调谐器。20世纪90年代，MEMS压力传感器和加速度计开始广泛应用于汽车安全气囊和医用呼吸器等领域，推动了MEMS技术的蓬勃发展，并降低了MEMS技术成本。

MEMS谐振器结构小巧（0.1mm或更小），用于在静电激励下以高频振动。制造时，首先在绝缘体上的硅（SOI）层中蚀刻谐振器结构，然后通过用氧化物填充沟槽来对晶体表面进行平坦处理。接下来，形成接触孔，以便进行电气连接。最后，用氢氟酸除去氧化物，以产生具有振动能力的独立谐振器梁。