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IBM成功制造自组装半导体存储器元件

发布时间:2007/8/31 0:00:00 访问次数:369

IBM利用分子自组装现象,日前成功开发了制造半导体存储器元件的方法。

    该公司于美国日前宣布开发了一种制造半导体存储器元件的方法。而且不需使用在晶圆上曝光电路图形的光刻技术,还能直接沿用现有的半导体制造设备。由于不需成本昂贵的光刻等制造设备,还无需过多地改进制造工艺A,因此风险很小。自组装是指某种聚合物分子自然地聚集而形成规则结构的现象。能生成的物质与光刻等现有半导体制造方法相比,尺寸更小、密度更高、缺陷更少的元件。

    该公司使用现有半导体制造设备,并通过利用自组装现象,研制成了一种在直径200mm的硅晶圆上像闪存一样运行的纳米级结构。而用现有的方法无法制造出纳米级结晶存储器。如果利用自组装,就能够非常简单地制造出像闪存一样的常用半导体元件。对于采用自组装的制造方法的实用化,该公司认为3~5年后就能够达到试制水平。
    另外,IBM将在华盛顿特区举办的“IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)”国际学术会议上以“Low Voltage, Scalable Nanocrystal FLASH Memory Fabricated by Templated Self Assembly”(利用模块化自组装,制造低压、可扩展纳米级结晶闪存)为题介绍该方案。

IBM利用分子自组装现象,日前成功开发了制造半导体存储器元件的方法。

    该公司于美国日前宣布开发了一种制造半导体存储器元件的方法。而且不需使用在晶圆上曝光电路图形的光刻技术,还能直接沿用现有的半导体制造设备。由于不需成本昂贵的光刻等制造设备,还无需过多地改进制造工艺A,因此风险很小。自组装是指某种聚合物分子自然地聚集而形成规则结构的现象。能生成的物质与光刻等现有半导体制造方法相比,尺寸更小、密度更高、缺陷更少的元件。

    该公司使用现有半导体制造设备,并通过利用自组装现象,研制成了一种在直径200mm的硅晶圆上像闪存一样运行的纳米级结构。而用现有的方法无法制造出纳米级结晶存储器。如果利用自组装,就能够非常简单地制造出像闪存一样的常用半导体元件。对于采用自组装的制造方法的实用化,该公司认为3~5年后就能够达到试制水平。
    另外,IBM将在华盛顿特区举办的“IEEE International Electron Devices Meeting(IEDM)”国际学术会议上以“Low Voltage, Scalable Nanocrystal FLASH Memory Fabricated by Templated Self Assembly”(利用模块化自组装,制造低压、可扩展纳米级结晶闪存)为题介绍该方案。

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