压力传感器是常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、 F16L8-25CN管道等众多行业。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量大,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。压力传感器主要应用于增压缸、增压器、气液增压缸、气液增压器、压力机、压缩机、空调制冷设备等领域。压力传感器的种类繁多,如压阻式压力传感器、电阻应变片压力传感器、压电式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器等。其中以压阻式压力传感器的设计和应用最为成熟。

    压阻式压力传感器是由平面应变传感器发展起来的一种新型压力传感器。它以硅片作为弹性敏感元件,在该膜片上用集成电路扩散工艺制成四个等值导体电阻,组成惠斯登电桥,当膜片受力后,由于半导体的压阻效应电阻值发生变化,使电桥输出而测得压力的变化。压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线,压阻式压力传感器结构。

   压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比为⒛~ω。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。

    压阻式压力传感器广泛应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。