记录内容包括被试器件数
发布时间:2019/5/24 19:47:31 访问次数:3868
如果在玻璃钝化层区域(例如,键合区、芯片边沿、划片线等)边沿之外的任何地方出现铝层腐蚀的情况(见图4-147~图4-153),该批器件就应拒收。 GAL16V8D-10LJNI 这一判据只适用于电流密度的计算值超过2×105A/cm2的那些铝互连线。除非整个铝条被完全切断,否则图4-149~图4-152所示的C类和D类缺陷不得判为拒收。铝的腐蚀可通过与被玻璃钝化层覆盖的铝区域相比出现的透射形貌或反射特性的变化来判断。应记录失效情况,记录内容包括被试器件数(如不是一个器件),以及与不同失效类别相对应的失效数。
如果在玻璃钝化层区域(例如,键合区、芯片边沿、划片线等)边沿之外的任何地方出现铝层腐蚀的情况(见图4-147~图4-153),该批器件就应拒收。 GAL16V8D-10LJNI 这一判据只适用于电流密度的计算值超过2×105A/cm2的那些铝互连线。除非整个铝条被完全切断,否则图4-149~图4-152所示的C类和D类缺陷不得判为拒收。铝的腐蚀可通过与被玻璃钝化层覆盖的铝区域相比出现的透射形貌或反射特性的变化来判断。应记录失效情况,记录内容包括被试器件数(如不是一个器件),以及与不同失效类别相对应的失效数。
相关技术资料- 5-24记录内容包括被试器件数
- 5-23样品检查一般要求
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