本试验应用于已做过包括最后密封封装在内的完整组装过程的器件,密封的器件在用机械方法去盖时应使受到的应力最小,应至少从待检验批中随机抽取一个器件作为试验样品。可采用下列方法中的一种进行腐蚀试验。

GAL16LV8C-10LJN

   把去盖的样品完全浸入下述铝腐蚀液中:H~RPo4(85%)∶H20∶IINo3(⒛%)=(体积比),该溶液温度保持为50℃±5℃。在腐蚀过程中应采用适于观察浸入溶液中样品的光学系统(如单筒、双目或立体显微镜)检查器件。器件的腐蚀时间应是从裸露的键合点处完全去掉铝金属层所需总时间的两倍。将经腐蚀的器件从加热溶液取出,在高纯水中漂洗后用压缩空气或其他合适的气流吹干。腐蚀和干燥之后至少用lO0倍放大倍数进行最终的光学检查。

   在室温下将去盖的器件样品完全浸入到下述铝腐蚀液中腐醋酸:去离子水=5∶80∶5∶10(体积比)。经腐蚀的器件从溶液中取出,在高纯水中漂洗后用压缩空气或其他合适的气流吹干。腐蚀和干燥之后至少放大100进行最终光学检查。