电子元器件的扫描电子显微镜(sEM)检查主要针对器件类产品进行,相应的检测标准主要有GJB548方法⒛18和GJB128方法⒛77。

   试验仪器G6K-2G-Y-TR-DC5

   用于检验的设备是一台扫描电子显微镜(sEM)。在使用条件下测量图像时应具有25nm或更高的分辨率。其放大倍数在10OO~⒛O00倍间可调节。设备应能使样品倾斜,具有0°~85°的观察角,并能使样品旋转360°

   1,校准

   扫描电子显微镜的放大倍数应根据国家标准或等同的检验所用的放大倍数的要求校准,工作时的实际放大倍数误差不应超出标称值的±10%;其分辨率应按国家标准或其他等效标准要求检查,验证是否具备25nm或更高的分辨率。放大倍数和分辨率校准的间隔时间由承制方根据其SEM设备统计数据而定。

   2 操作人员

    进行sEM检查的人员在获得检查金属化层的资格之前,应在设备操作和如何分析显微镜图像及摄取的照片等方面接受一定的培训。SEM操作人员获得金属化层检查资格的程序 应形成文件,并在有要求时能随时提供给鉴定机构或适用时由鉴定机构指定的代表进行审查。其中应包括每年至少需要重新获得一次资格的审查程序条款。操作人员的资格或重新获得的资格应以书面文件确定,并在有要求时能随时提供给鉴定机构或适用时由鉴定机构指定的代表审查。

   3.程序

   应有金属化检查程序的书面材料,并应将这些程序形成文件,并在有要求时,能随时提供给鉴定机构,或适用时由鉴定机构指定的代表审查。