细检漏(氦质谱检漏法)

   质谱检漏仪是通过质谱分析的方法来实现检漏的一种仪器,所谓“质谱分析”,是将H5DU5162ETR-E3C示踪气体(氦质谱仪就是用氦气作为示踪气体)分子转换成离子,并通过电磁的“离子光学系统”将离子按电荷与质量之比分离,然后对离子流进行测量。由于离子流的大小与质谱分析室示踪气体的浓度成比例,同时示踪气体的浓度叉与通过被检样品泄漏进入质谱分析室的示踪气体流量成正比。因此,通过测量离子流即可知道被检样品泄漏的大小。

   首先将试验样品置于加压容器中,利用辅助泵进行真空抽气,达到规定的真空度后再充入具有一定压强的氦气,如果试验样品确有细微漏孔,则氦气即由此而进入被检样品内部,到达规定的加压时间后,从压力罐中取出样品,将经充氦的试验样品置于质谱仪的真空中,由细微漏道逸出的氦气就进入真空系统。由于依靠分子泵和机械泵所构成的抽气装置保持了系统的高度真空(⑷1mPa),这样进入真空系统的氦气很容易扩散到质谱分析室内。如果集成电路封装结构所存在的细微漏孔较大,则进入质谱分析室的氦气分子就多,反之则少。

   示踪气体细检漏试验设备由氦质谱检漏仪和充氦容器所构成。氦质谱检漏仪应经过适当的预运行和校准;使其灵敏度达到足以读出小于或等于10、a・cm3/s的漏气速率。用于测量漏气速率的检测密封罐体积应根据实际情况保持最小尺寸,因为该体积过大将对灵敏度极限值产生不利的影响。每次试验前必须对氦质谱检漏仪器进行校准。如图⒋10所示为某型氦质谱检漏仪。