单粒子效应的物理概念

   1)注量率M25P40-VNW6PBA

   注量率为单位时间内单位面积入射入器件的粒子数,单位为粒子数每平方厘米秒(粒子数/cm2・s)。

   2)LET与有效LET

   LET(Lhcar Ellergy Trallsfcr,线性能量传输)的物理含义为单位密度单位长度上沉积的 能量,也可以表示每单位轨迹长度上沉积的电荷数,单位为MeV・cm2/mg。有效LET为粒子倾角入射时等效于表面法线方向上单位密度单位长度上沉积的能量,通常用LE飞f表示,定义如下:,沩入射角度(与表面法线方向的夹角),LET‘为以汐角入射的离子的LET值。LET是能量的函数,随着能量的增加,LET值增加,然后达到极大值,接着随能量的增加缓慢的下降。在高能区,LET值是能量的不灵敏函数,随能量改变的比较缓慢。图3-15所示为锗(Gc)离子入射入硅(si)材料中,能量与LET的关系曲线图。