位置感应电极通常通过横向梳齿实现,因此可以是调谐梳齿数量的两倍,这样就不再需要一组电极仅用于刚度调谐。以足够高的速率进行时间复用位置检测和刚度调谐是共享电极的一种方式。在这种情况下,有效的静电刚度按刚度调整相位的占空比来缩放。然而,从最小化功耗的角度来看,无论如何,一套专用的调谐梳齿能更好地避免在高速率感应电容充放电时的典型的大功率代价。

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    频率失配评估和电压可调弹簧包含了实现自动谐振频率调谐的必要部分。唯一剩下的单元是可以关闭调谐回路的控制器。控制器应将频率失配估计值推到零,并在所有工作'氪保持稳定。可调谐刚度相对电压的二次方依赖关系相会产生信号相关环路增益,并且必须在控制器设计中考虑。图5.15显示了实现调谐回路的一种方法。该回路包括明确的二次方根函数,以抵消刚度对电压的二次方依赖性。所得线性化回路的开环传递函数为一个带无限直流增益的环路滤波器可以将失配调整到零。为了实现简化系统,图5.16中二次方根可能会被忽略,导致的后果是回路将表现出非线性沉降现象。在回路中未补偿的二次方非线性特征导致了小信号开环传递函数为所提出的估计模块的基本特性是在ωd±ωcd处将失配信息调制到载波上。果失配不是常数而是随时间变化的,那么调谐的信号会占据一个非零的带宽。果它们的频谱成分不被别名标识(alias),则有可能恢复全部的调制信息。