集成电路1E向亚微米、深亚微米、多法布线结构的方向发展。同20世纪70年代的约鬲微米技术相比. D27C256AD-15失效机理变得纷繁复杂,同时也带来一些新的失效因素n新的失效素不仅对可靠性产生影响,分析、诊断及研究的难度也更具挑战性。相应的,集成电路的失效分析,也发展到不仪复杂,而且昂贵:(附录图l:常川失效分析实验室设备)c失效分析通常得涵盖一系列系统性、逻辑分析和诊断过程,需要一系列失效分析设备,包括电性表征仪器、针对封装器件(package―level)的非破坏性分析设备、半破坏性开封设备、失效定位设备及研究分析电路某些微Lx内的形貌、纬构、组分和状态问题的微分析表面分析仪器、样品制备装置等”同时,1h于器件的门类,爿l种繁多.结构'丨生能差舁性很大.它们所经历的环境、应力条件亦不同,失效件的来源.可靠性等级以反要求分析日的也不相同:此・集成电路失效分析技术勹方法是要求把「具、设备、仪器竿检查测试分析手段与分析居、路及分析方案综合在一起的技术.具体对一个分斫案例吏用u那-砷分析技术,还丨t根据实际情况来决定。

   失效分析是一闸边缘科学・它跨越各种科学技术领域并把各白独立的技术综合在一起,它也可以是一闸综合性科学。所以进行失效分析时要经常与器件设计者、制造者、使用者∷方共同分析讨论,从器件没计技术、制造技术、器件物理、器件使用、没备制造和设计以及可靠性管理等方面进行综合分析考虑.即要有计划、有步骤地进行。优秀的失效分析员,必须具各可靠性及失效物理、物理、半寻体和封装t艺、电路、版图设计、测试、材料、化学以及冶金学等学科的基本知识・掌握失效分析的基本方法.不仅富有逻辑思考能力,而且要求有足够的耐心和经验积累。只有这样才能准确地找出失效的真i工根源c正囚如此,培养一个合格的、有经验的失效分析员,需要五年时间・这同业界失效分析员的平均△作周期相仿。为了达到人才资源利用最大化.缩短培训周期,中芯国际分析实验室建立了FA Rel)ortSystem,充分利用中芯国际分析实验室所记录的失效分析案例.使T程师能够从中学习分析手法、F解失效机理、熟悉⒈艺制程、体会分析思路。在中芯国际分析实验室,FΛ Report

svs1em已经成为分析实验室日常运衍的一部分,它记录r所有案例的来龙去脉,包括T艺、失效模式∷现象、机理、反馈及改善措施等。它具有在线申请、审批、分析中请单序列号白动生成、白动9mail通知case接受、完成及在线分析报告审核的功能。该系统除F⒈功能外,也没计了基本的查找和统计能力,在基本的计算case数量、种类外,亦设计r统计分析所用机器种类、时间、所产生的相应费用的功能。囚为实现完全系统化,每个案件都有特定的访问权限设置,客户关心的知识产权保密(CIPP),从根本上得到保证。ISO所要求的Data traceability,亦有很好的保障。