MOCVD尾气中除了含有未反应完的氢化物、MO源和某些反应副产物等有毒气体, P80C552EFA还有很多粉尘颗粒。在生产中必须将有粉尘和毒尾气通过尾气系统进行除尘及无害化处理,使其达到规定排放标准以下。

   一般尾气处理系统主要包括真空泵前级处理和从真空泵出来后的排放处理。在真空泵前级的尾气处理方面,通常在反应腔排气口和控制反应腔压力的蝶阀之间增设过滤器,这样一来,所有从反应室排除的尾气物质,必须先经过滤器(包括颗粒冷凝)滤掉直径小于2um的粉尘,使颗粒粉尘不堵塞蝶阀或真空泵,从而保证系统能够长期正常工作。红黄光LED外延生长后的尾气,因其包含有含As和P的附产物,剧毒且易燃,其处理比GaN材料外延生长后的尾气处理要更为严格。通常会特别安排磷阱吸附器和毒气吸附器(TGA)进行吸附。而且,为防止热的尾气在管路中的凝结,会对尾气管路进行加热。但是,从真空泵出来的气体仍然含有毒气,在排放到大气之前需要将有毒物质浓度降低到规定排放标准以下。常用的尾气处理方法主要有利用化学反应吸收毒气的湿式过滤器P叨;利用吸附剂吸附毒气的活性炭过滤器田l];以及比较经济的燃烧法――通过热分解、燃烧或MOCVD生长过程复杂、信息量大,需要实时运算、处理、执行和分析的数据纷繁复杂。这需要有优秀、合理的智能控制与数据处理系统架构方案和可靠的硬件施行条件。通常,就硬件配置而言,MOCVD的智能控制系统主要由主机服务器和各个功能PLC模块组成。主机一般负责材料生长过程监控、控制系统的监控界面运行、数据记录、报警记录、数据趋势图,以及操作人员的人工权限管理、指令控制与执行功能等。各PLC模块相应负责整个控制系统运行,包括各种信号采集、数据处理以及各种输出信号控制。输入信号包括各类仪表传感器的流量、压力、温度、警报信号等;输出信号涉及电磁阀、接触器、电机、压力控制器、流量控制器、加热器等控制量。基于此,MOcVD设备中整个智能系统硬件配置和任务划分后,通过不同的人机对话界面至少完成下列功能: