一种方法可以降低阈值，PCA9534BS即反差增强层( CEL)，就是在光刻胶上面涂一层，该层最初对曝光辐射是不透明的。

   在曝光循环中，反差增强层变白（透明的），从而允许光线通过它进入下面的光刻胶。反差增强层在变成透明物质前，首先对高强度光线响应，实际上在变成透明物质前，等于保存了低强度光线。结果就是光刻胶接受均匀的高强度能量照射，使得分辨率提高。，可以将反差增强层想象成双层光刻胶系统中的七层光刻胶，在这上面薄层中形成图形。

   反差增强层在显影前被一种喷涂化学试剂除去，然后对晶圆进行常规的显影。具有1.0lim分辨能力的正胶通过反差增强层可以做出0.5 ym的图形、在光刻胶生产过程中可以加入各种各样的染色剂。一种染色剂在曝光时可以具有一种或几种作用。，一种作用可能是吸收辐射光线，借此可以削弱反射光的影响，将驻波效应减到最小。另一种作用可以改变显影时光刻胶聚合物的分解率。这一作用町以产生清晰的显影线条（增大反差）。染色剂的一个重要作用是消除淀积材料穿过表面台阶细线条处产生的凹口。对兆刻胶添加染色剂会增加5%~50%的曝光时间36．。