自组装技术一般是首先在蓝宝石衬底表面形成一层由sio2纳米球有序排列构成的自组装膜,MBR160F然后以有序排列的Si02阵列作为掩膜,℃P亥刂蚀蓝宝石表面,可形成纳米图形化的表面。so2纳米球通常采用化学的方法,将一定浓度的正硅酸乙酯乙醇溶液缓慢滴加到氨水、乙醇和去离子水的混合溶液中,在恒温水浴下振荡4h,就能够获得尺寸可控的单分散S⒑2纳米球颗粒(粒径可控制在⒛0nm左右)。然后采用静电自组装等方法可将制各的单分散sio2纳米球颗粒规则地自组装在蓝宝石衬底表面。自组装纳米层技术制备纳米图形化蓝宝石表面的关键过程是自组织膜的形成。

   自组装技术是在无人为干涉条件下,组元自发地组织成一定形状与结构的过程。它一般是利用利用非共价作用将组元(如分子、纳米晶体等)组织起来,这些非共价作用包括氢键、范德华力、静电力等。通过选择合适的化学反应条件,有序的纳米结构材料能够通

过简单地自组装过程而形成。

   激光全息技术

   纳米压印技术和自装纳米层技术工艺都较为复杂,不利于大规模的I业化生产。激光全息技术是利用全息光栅取代光刻技术中的掩膜,根据三个全息光栅的一级衍射光相互干涉,在光刻胶上表面形成相应的周期性图形形成二维光子晶体,其光学系统示意图。具体工艺为:首先在蓝宝石衬底表面用甩胶机涂覆一层光刻胶,的全息光学系统在光刻胶上曝光,制作光子晶体图形。全息光学元件由三个两两夹角为1⒛°具有相同周期的光栅组成,其衍射光相互干涉形成二维六角图形。通过控制全息光栅上的周期可以获得所需晶格常数的二维六角晶格图形。利用激光全息技术可以非常方便地在蓝宝石衬底表面制备不同周期的二维图形,且全息光栅的面积决定了一次曝光所制作的二维结构图形的面积,十分有利于实现工业化的低成本、大批量制作。