(1)该模型独立于晶圆流模式。虽然一NCP1377BDR2G个卡匣内的晶圆有着相同的加工流程,或者说晶圆流模式是相同的,但是集束型装备要加工不同类型的卡匣。即不同类型的卡匣经常有不同的流模式。因此,使用该模型,集束型装备会从加工一种类型的晶圆切换到加工另外一种,但是无须修改该模型,只要改变库所容量及初始标识就可以。相反的是,已有的Pctri网模型是基于固定的晶圆流模式的,存在当每一次加工的晶圆类型变换之后,那么就要重新建立一个相对应的模型,并且要重新做相应的分析。

   (2)一个集束型装各在调度过程中,在机械手完成任务之后的等待及等待的时间长短是非常关键的,可以作为集束型装备调度的决策变量。对双臂机械手集束型装备的Petri网模型,机械手的等待动作可以看成是独立的,并且能代表机械手整个的活动序列,该基

于等待的活动序列构成了集束型装各的调度结构。

   在Pc饣i网模型中,当变迁的时间延时为豸,表示触发该变迁所需时间;当库所的时间延时为豸,表示库所托肯在该库所中至少停留的时间。