调度必须考虑设各出现意外的情况,如临时晶圆加工、作业时间波动和加工设备出现故障等。 LPO2506I-223LC应急调度方法大多是启发式算法。

   临时晶圆

   半导体生产线为了满足交货期要求,必须赋予这类紧急工件最高的优先级,并且优先加工而无须等待,这类加△任务称为临时晶圆。由于临时晶圆的加入,等待在集束型装备前的晶圆存在多种类型,故也将临时晶圆加工归类于动态混合晶圆加工。

   本章参考文献[78]针对临时晶圆加工路径不同、并行模块及晶圆允许跳过不必要的加工工位等情况,提出基于时间约束集的在线调度算法,并且证明算法的可行性和最优性。本章参考文献[79]进一步研究了该问题,并针对晶圆的重入加工问题,提出一种基于事件驱动的实时调度算法。当晶圆到达后,利用之前记录的加工模块和搬运模块的可使用信息,立刻对当前晶圆进行调度。这些信息用时间约束集表示,且完成调度之后,晶圆的调度方案不再做调整。本章参考文献[80]针对单臂多集束型装备的建模与调度问题,首次将析取图和滞留约束限制引入多集束装备调度的问题域中,并建立调度问题的非线性规划模型,提出基于时间约束集的逐级回溯的启发式调度方法。本章参考文献[81]在分析单臂和双臂模型区别的基础上,针对双臂多集束型装备调度的特殊性和复杂性,建立双臂多集束型装各调度问题的数学模型,提出以时间约束集为核心和基于Swap策略的调度算法。该算法以swap策略为基础,提出用虚拟化的方法解决双臂多集束型装备的调度问题。本章参考文献[82]提出一种以瓶颈工作站为界,通过逐级回溯和递推来优化机械手搬运作业顺序,

同时降低产品在机器上的驻留时间的启发式调度算法。该算法结合时间缓冲概念,有效地解决共享工作站的机械手冲突问题,防止死锁现象的发生。本章参考文献[83]以动态到达晶圆的最短完工时间为调度目标,构造基于搜索可行机械手搬运路径的调度算法。本章参考文献[M]提出一种以时间区间集为核心、基于虚拟缓冲模块概念和交换策略的调度算法,该算法的核心思想是引入虚拟缓冲模块概念,将双臂多集束型装备的调度问题转化为带有虚拟缓冲模块的单集束型装各的调度问题。