在本章参考文献[48]的基础本章参考文献[⒆]研究树形结构的集束型装备,首先对M11L416256SA-35T给定的调度用递归的算法计算最小的生产节拍时问,这须遍历计算所有可能周期时间;接着分析线性集束型装备在给定调度下的最小生产节拍。因为求解一般结构配置的Κ集束型装备的最优的机械手调度顺序是NP-hard的,所以该文献进一步分析最优调度能被快速求解的条件;然后给出多集束型装备可分解为单集束型装备的解耦等价性(DccouplingEqiⅤalcncc)定义,同时给出树形结构Κ集束型装备应用这Pull策略(最优调度)满足的充分条件,以及Κ集束型装各应用Pu11策略可分解的充分条件。该文献认为树形结构多集束型装备中,耦合联系不限于两个相邻的集束型装备之间,任何两个集束型装各都有耦合联系。所以在给定的调度下,由晶圆分布及各个集束型装备的时间参数,可以判断多集束型装备会出现庀晶圆周期调度。但其分解条件具有一定的局限性。例如,在Pull策略下分解两集束型装备,必须满足在C】或o中有一个较长加工时间模块(或较长的机械手周期),而且o中加工时间之和及机械手移动时间较短。总之,本章参考文献[48,⒆]是多集束型装备调度领域目前获得的最好研究结果,在本领域有重要意义。然而,本章参考文献认为两集束型装备的生产节拍由每个集束型装各中的机械手顺序、晶圆数量的分布、缓冲区耦合决定,而彐^当o中所有模块的加工时间之和相对Cl来说足够大时,整个两集束型装备是无法获得1晶圆周期调度。而实际上,本章参考文献[50]的研究发现这种情况 可以获得最优1晶圆周期调度。另外,本章参考文献[49]给出的可分解条件十分有限,认为多集束型装备在一般条件下存在攵晶圆周期调度,但没有给出1晶圆周期调度,同时当不符合分解条件及Pu11策略的最优条件时,也没有给出求解最优调度的方法。