还有一些商业性集束型装各仿真软件,例如,应用材料公司(Applicd MatrialsCorpor破ion)开发的商业性集束型装各仿真工具Applied ToolSimTM可以使用户快速准备预测吞吐量,理解系统动态行为,采集有用信。本章参考文献[59]介绍应用上述工具

K9F5608U0D-PCB0预测和提高装备生产率的过程。虽然应用仿真模型可以模拟装备的动态加工过程,预测装各产能。但是,通常仿真模型存在一个缺点,即集束型装备被看成一个黑盒,它不能揭示集束型装备配置参数与相应性能之间的关系lsOl。为克服这一问题,本章参考文献[ω]设计一个表示集束型装备每个组成部分的细节模型,介绍集束型装备模型的自动生成方法,其模型中吞吐量计算部分采用瓶颈分析方法。