时序图是一种用于描述集束型装备的加工模块和机械手使用情况的甘特图。时序图R060047300内在思想简单,即以图示的方式通过活动列表和时间刻度,形象地表示任何特定项目的活动顺序与持续时间。时序图基本是一条线条图,横轴表示时间,纵轴表示活动(项目),线条表示在整个期间上计划和实际的活动完成情况。  

   早期有关集束型装各的研究主要是生产率的问题。研究中都假设作业时间是确定 的并且没有滞留时间约束。大部分情况下,集束型装备处于稳定状态,周期性进行生产,稳定状态下的生产率取决于加工节拍。本章参考文献[10,11]的研究成果具有代表性,研究中采用时序图建模,并且推导串一并、混合晶圆流模式、重入晶圆流模式的吞吐量理论模型。

   本章参考文献开发一个仿真模型,验证本章参考文献[10,11]推导的系统最大吞吐量理论模型。本章参考文献[10]提出的理论模型都是针对单臂集束型装备。本章参考文献[11]提出双臂机械手集束型装备的理论模型,推导出双臂机械手集束型装各稳态时的基本周期,并进一步对单臂与双臂机械手集束型装备的性能做比较。研究结果表明双臂机械手能够提高生产率,交换策略是一个有效的调度策略。以上推导的理论模型都只是考虑单批次晶圆加工。