广义的应急调度的实现方式分为两类:一类是事先不存在静态调度方案,直接按R0502053S照生产系统中的晶圆和设备的状况及相关信`自、,使用某种计算方法,确定晶圆或设各的加工决策,这种调度称为使用允许时间在线调度;另一类是在已有静态调度方案的基础上,根据生产系统的现场状态,及时进行静态调度方案的调整,给出适合现场状态的调度方案,这种调度称为重调度lSg~93]。考虑第一类使用允许时间的在线调度,并假设临时晶圆到达时,装备内的晶圆继续加工,暂停装各外等待的晶圆,调度系统优先考虑临时晶圆的作业安排。在实时调度系统中,资源(加工模块和机械手)可以使用的加工时间和搬运时间是一些时间区间值,是否能在这些区间值上加工取决于要加工晶圆的滞留时间及资源的空闲时间。

   因此,合理安排临时晶圆的加工顺序和滞留时间至关重要。

   以上两类应急调度都能够获得可操作性强的调度方案,但优化计算过程又有所不同。在线调度具有较好的实时性,但在决策中往往只考虑局部信息,因此得到的调度方案只是可行的,与最优调度方案可能有较大的差距;重调度则是在己有周期调度方案的基础上,根据更多的系统状态信息及加工任务对周期调度方案进行动态调整,得到的调整方案不仅具有可操作性,优化效果也较好,更接近最优调度方案,但有时需要以较长的运算时问为代价。