调度资源
发布时间:2017/11/26 14:35:19 访问次数:2925
集束型装各调度的资源主要包括两大类:硬件资源和软件资源。其中,硬件资A915BY-220M源是指晶圆加工过程中使用的设各、原材料及辅助材料、参与加工过程的各类人员等;软件资源是指加工过程中使用的各类产品的工艺信息、描述加工I序的设备程序及使用辅助材料的描述信息、与设备维护有关的信息等。半导体制造系统涉及大量要处理的信息流,在生产线层次使用的是制造执行系统(MallufactuHng ExecL】tion S阝tcm,MES),在设备层使用集束型装备控制系统,在生产线物料搬运层使用自动物料搬运系统(Atltomatic MatcrialHand1ing system, AMHS)。
集束型装各调度的资源主要包括两大类:硬件资源和软件资源。其中,硬件资A915BY-220M源是指晶圆加工过程中使用的设各、原材料及辅助材料、参与加工过程的各类人员等;软件资源是指加工过程中使用的各类产品的工艺信息、描述加工I序的设备程序及使用辅助材料的描述信息、与设备维护有关的信息等。半导体制造系统涉及大量要处理的信息流,在生产线层次使用的是制造执行系统(MallufactuHng ExecL】tion S阝tcm,MES),在设备层使用集束型装备控制系统,在生产线物料搬运层使用自动物料搬运系统(Atltomatic MatcrialHand1ing system, AMHS)。
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