集束型装各是一个可重构系统,可以加工不同类型的晶圆。尽管加工模块可以通过控制器的重新设置来实现不同的流程模式,但在不同模式的切换过程中,AAT3218IJS-3.3-T1系统要经过“稳态→过渡态→稳态”的过程。系统的过渡态是指前批晶圆没有结束加工,后批晶圆就进入集束型装备开始加工,即前批晶圆没有末态和后批晶圆没有初态,可以看出这种连续不中断的加工方式,使进入系统的新类型晶圆不具有初态。

   晶圆制造过程是一个典型的复杂离散事件动态系统(Ⅱscrctc Event Dynamic Systcm,DEDs)。在集束型装备的调度和运行控制中,除了因晶圆加工的滞留时间引起的调度可行性问题外,还需要避免另外一种不可行状态,即系统死锁[I2~15]。重入加工的模块及相邻集束型装备间的缓冲模块需要共享,这些模块在竞争有限资源时,如果缺乏有效的调度和控制方法,就会引起“死锁”现象。死锁发生时,系统中的任务永远被阻塞,不能被执行。这一特点使集束型装备调度问题更加复杂。