由于在先进制程,光罩费用昂贵,一套光SCA100T-D01罩成本可能高达数百万美元,所以每个shortprocess loop都使用单独一套光罩是不经济的,通常对yield learning vehiclc的要求是一套光罩,必须能兼容各I艺段shord∞p试验的设计t采用Mcmory(SRAM或者DRAM)产品作为yield lcarning vehicle的好处,是较一般的逻辑产品而言,Mcmory的密度高.对于随机缺陷的捕获能力强,另外阵列化/地址化的布局,失效可实现晶体管级的定位・易于失效分析(EFA、PFA),快速找到失效机制。

   但是进人纳米时代后,Memory作为yiCld learning vehicle的缺点也日益凸现。首先是对于设计和I艺交互的(版图相关性的)systcmatic失效,难以捕捉;其次对于parametric失效,缺乏有效追溯手段;最后,必须完成所有△艺,流片时间太长。