Random缺陷往往和设备相关,一般对成熟I艺其D0在一个比较稳定的程度,产品之间的差异相对较小。 S1T8528X01-Q0R0

   systematic缺陷往往发生在制程结构发生变化的时候,或者旧的制程结构已经接近极限,或者新的制程结构还不成熟。其失效有很强的条件相关性.即在某种条件下一定发生或者高概率发牛,常有很强的版图特征相关性,可能出现产品关联性(pr°duct specific)c制程不成熟导致的系统性失效如图17,15所示。

   图17.13 制程不成熟导致的 (Inline deft,ct inspection)或机台共通性(tool commonality)系统性失效   分析查找。

   如图17.16所示.通过binn1ap和inline defect maI)的比较,可以找出缺陷在丁艺上的来源。而to()l comn1onality分析呵以找出问题设备(tr。ubleool),进而加以改善。