有了D0,还必须能和产品的yield联系起来,这样对于产品能作出合理的yield预测,对丁艺改善进行指导。 HVLED805TR

   一种应用较为广泛的yield model是bose einstein model

   这里A为产品的面积(chip area),单位是in2。1)0单位是个/cm2。″是制程复杂度的指标c数值上等于各工艺层的复杂度的和(下面每层的取值,对应不同的公司//li产线/T艺可能不同):

   (1)关键层,缺陷敏感度高.复杂度为1(AA,Poly,Contac1,Ml等)。

   (2)普通层,缺陷敏感度中.复杂度为0,5(后段I艺的Metal,Via层)。

   (3)非关键层,缺陷敏感度低,复杂度为0.25(离子注人层等)。

   (4)其他非关键层,缺陷敏感度极低,复杂度为0(钝化层等)。