敲击模式介于接触模式和非接触模式之闸,是一个杂化的概念。悬臂在试样表面上方以其共振频率振荡,针尖仅仅是周期性地短暂地接触敲击样品表面。SA503679-04这就意味着针尖接触样品时所产生的侧向力被明显地减小了。因此当检测柔嫩的样品时,AFM的敲击模式是最好的选择之一。一旦AFM开始对样品进行成像扫描,装置随即将有关数据输入系统,如表面粗糙度、平均高度、峰谷峰顶之间的最大距离等,用于物体表面分析。同时,AFM还可以完成力的测量I作,测量悬臂的弯曲程度来确定针尖与样品之间的作用力大小。ΛFM在集成电路生产过程中主要用于测量STI的深度、STI Oxidc的step hcight以及其他沟槽的深度和栅极、互连线的剖面轮廓等。