集成电路可靠性介绍
发布时间:2017/11/16 21:03:36 访问次数:870
可靠性的定义是系统或元器件在规定的条件下和规定的时闷内・完成规定的功能的能J(thc abdity of a sys1en) or con1I)oncnt 1o pcrforn】 its required functions undcr s1a1edc°nditions fOr a sI)ecific pcriod Of tin】c).SIHG20N50C-E3所谓规定的时闷一般称为寿命(lifC1in)c),基本集成电路产甜l的寿命需要达到如果各个部分的寿命部⒎I以达到一定的标准,那产爿t的"T靠性也能达到^定的柄i准集成电路在不同条件下的失效过程大致相同,lir以划分为i个阶段:初期失效Lx、随机失效区和磨损失效l×・失效率和使用时问之问的关系足现“浴缸曲线”,如图15,1所示。使川初期失效率高,主要是由于集成电路的缺陷造成的,如硅片表面的划痕、玷污、划片应力、光刻缺陷等,这一阶段对集成电路平均寿命影响很大。
为F避免“浴缸曲线”初期的不合格品出厂往加高电场和高温进行筛选,去掉不合格品。 在随机失效阶段,失效率相对比较低广^般为-常数,器件特性慕本恒定,但发+故障,则常常是致命的:在磨损失效阶段・早期发明品体管时.人们认为品体管是固体器件、具有无限寿命.但集成电路已经发展到超大规模集hlt电路・每`芯片⒈集成有器件数.寻致器件的尺寸不断精细化.失效率随着时问增大雨i提高出现磨损失效现象:
可靠性的定义是系统或元器件在规定的条件下和规定的时闷内・完成规定的功能的能J(thc abdity of a sys1en) or con1I)oncnt 1o pcrforn】 its required functions undcr s1a1edc°nditions fOr a sI)ecific pcriod Of tin】c).SIHG20N50C-E3所谓规定的时闷一般称为寿命(lifC1in)c),基本集成电路产甜l的寿命需要达到如果各个部分的寿命部⒎I以达到一定的标准,那产爿t的"T靠性也能达到^定的柄i准集成电路在不同条件下的失效过程大致相同,lir以划分为i个阶段:初期失效Lx、随机失效区和磨损失效l×・失效率和使用时问之问的关系足现“浴缸曲线”,如图15,1所示。使川初期失效率高,主要是由于集成电路的缺陷造成的,如硅片表面的划痕、玷污、划片应力、光刻缺陷等,这一阶段对集成电路平均寿命影响很大。
为F避免“浴缸曲线”初期的不合格品出厂往加高电场和高温进行筛选,去掉不合格品。 在随机失效阶段,失效率相对比较低广^般为-常数,器件特性慕本恒定,但发+故障,则常常是致命的:在磨损失效阶段・早期发明品体管时.人们认为品体管是固体器件、具有无限寿命.但集成电路已经发展到超大规模集hlt电路・每`芯片⒈集成有器件数.寻致器件的尺寸不断精细化.失效率随着时问增大雨i提高出现磨损失效现象:
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