纳米探针测量
发布时间:2017/11/16 20:37:18 访问次数:584
纳米探针测量:PN结电性测量结果如图14.31所示,异常衬度钨插塞与衬底之问的反向漏电流比正常lx域大三个量级。但是从PN结的特性曲线上来分SGM8622XS析,异常结构依旧保持了较为正常的PN结特性曲线,可以推断是N 亏P型衬底之间的微小结构缺陷造成了较大漏电流,如图11.35所示。
纳米探针测量:PN结电性测量结果如图14.31所示,异常衬度钨插塞与衬底之问的反向漏电流比正常lx域大三个量级。但是从PN结的特性曲线上来分SGM8622XS析,异常结构依旧保持了较为正常的PN结特性曲线,可以推断是N 亏P型衬底之间的微小结构缺陷造成了较大漏电流,如图11.35所示。
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