如图10.12所示,尖峰退火是浸入式退火的一种极致。在尖峰退火过程中,晶圆以 OP177GS极快的升温速度(最快可达近250°/s)升高到设定的温度后,叉以较快的降温速度(最快可达近90°/s)将其冷却到600℃以下。尖峰退火的设备跟普通浸人式退火的设备基本一样,但是为r达到快速升降温的日的,在I艺和设备上还是有些特殊的要求,比如说,为F达到快速升温的要求,需要大功率的灯泡,温度实时控制的频率也会有所提高;另外,为了达到快速降温的目的,就需要用大流董的氮气甚至氦气来提高热交换的速率。尖峰退火主要应用在0,13um以下的CMOs器件制造工艺中,位于轻掺杂漏和源漏极离子注人之后,在形成超浅结的同时,修复离子注人造成的晶格损伤和缺陷。