Marangoni干燥:Marangoni干燥技术由飞利浦研发实验室在1990年公布实施ⅡⅡ71, W208CHTR它取自一位意大利科学家的名字(这位科学家是19世纪从事流体动力学的先驱)。其方法如图9,26所示,晶片放进一个密封的水槽,槽内水面上方空间通人IPA+N2,冲洗一段时间后,以约5mm/s的速度慢慢提拉晶片,进入含有高浓度IPA的空间,此时,晶片表面水膜呈现月牙形,在区域1,较薄的水膜吸附并溶人较高浓度IPA,而区域2有较低的浓度,高浓度IPA的水膜有较低的表面张力,结果区域1和Fx域2之间就产出一个表面张力梯度,使得它在晶片上升时向下拉月牙形水膜到水槽,晶片从而变得干燥又干净。