三种二重图形技术的优点和缺点对比
发布时间:2017/11/1 19:37:08 访问次数:922
图7.106和图7.107分别显示了另外两种二重图形技术:胶凝固技术和侧墙层技术各有利弊。 O4FMNBMTTNATFT它们的优缺点如表7,7所示。而且,对于胶凝同技术,次显影之后,底部抗反射层已经经历过一次强碱显影液的“洗礼”(浸泡),它的酸变化,以至于会影响第二次光刻的光刻胶形貌。如果底部抗反射层的酸性变弱,次光刻的光刻胶形成底部站脚(footing)的问题。
目前能够实现的线宽均匀性由表7.8显示。可以看出,阿斯麦公司生产的NXT1950i系列光刻机已经能够基本满足二重图形技术的要求。
图7.106和图7.107分别显示了另外两种二重图形技术:胶凝固技术和侧墙层技术各有利弊。 O4FMNBMTTNATFT它们的优缺点如表7,7所示。而且,对于胶凝同技术,次显影之后,底部抗反射层已经经历过一次强碱显影液的“洗礼”(浸泡),它的酸变化,以至于会影响第二次光刻的光刻胶形貌。如果底部抗反射层的酸性变弱,次光刻的光刻胶形成底部站脚(footing)的问题。
目前能够实现的线宽均匀性由表7.8显示。可以看出,阿斯麦公司生产的NXT1950i系列光刻机已经能够基本满足二重图形技术的要求。
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