如果确定图形的走向为X或者Y,而且图形当中,关键空间频率分布在0,5^/NA与^/NA之间,那么, UC3714D最佳的照明条件是偶极照明。不过,如果关键图形当中含有孤立的图形,离轴照明并不好,因为它将很大一部分光衍射到光瞳之外去了。如图7.89中的右半边的衍射级(+1级)。所以,对于孤立的图形,我们叉需要相对较小的部分相干性照明。这样,就出现了混合照明方式,如图7,88所示。

　到了21世纪,仿真I具变得十分发达,人们还可以根据所需成像的图形用电脑运算,计

　算出最佳的照明条件。不仅如此,我们还可以将掩膜版同照明条件一起进行优化,叫做照明-掩膜优化(source Mask Optimization,SM())。早期的想法由罗森布鲁士(Roscnbluth)等人在9lD01年提出。