球面像差(sphcⅡcal aberration),简称球差。最低阶的是z9,其表现如图7.73所示,平行人射的光随着距离光轴的距离不同经过透镜聚焦在不同的焦点上。 U2730B-BFSGI球差是一种轴上的对称像差。它在光刻工艺当中的表现形式是影响最佳焦距,如图7.74所示。

   当不同空间周期的图形出现在同一片掩膜版上,由于它们的衍射光的角度各不相同(囚为空间周期不同),如果镜头具有球差,那么,这些图形的衍射光由于经过镜头不同的地方会具有不同的最佳焦距。图7,75显示了一台⒛8nm光刻机在不同空间周期的一维密集图形上的线宽随焦距变化的函数图(实测值)[3司。从图中可以看出这种影响还是不算小的。我们可以使用如图7.76的方法,将所测的焦距偏差转换为球差。