静电(static electricity)定义为材料表面的电子不平衡导致的带电电荷。这种不N25Q128A13EF840F平衡产生的电荷可以产生电场并且可以影响一定距离之外的物体。静电放电(Elcctro~staticⅡschargc,ESD)定义为两个具有不同电势的物体之间的电荷转移。静电放电可以改变半导体器件的电学特性,降低其性能或者破坏器件。静电放电还有可能阻碍电子系统的正常工作,导致设备故障。带有静电的表面会吸引小的污染物,导致材料维护困难。当在硅晶的表面或电路的表面存在静电时,会吸附空气中的飘浮物,导致随机的晶面缺陷和降低产量。要控制静电放电对器件的损坏,首先要明确静电是如何产生的。静电一般通过两种材料的接触和分离产生。例如,一个人走过地毯会产生静电电荷,因为他的鞋底接触了地毯表面然后分离。电子器件在装进或拿出包里时,也会产生静电电荷,因为器件的外壳或引脚与容器的表面发生了接触和分离。尽管带静电的强度难以计算,但一定是产生了静电。

   这种通过接触和分离产生静电的方式称为摩擦起电。摩擦过程中两物体得电荷还是失电荷取决于物体本身的材料电学特性。但是我们一般在表示静电带电量时,一股用静电势表示,也就是电压。材料接触分离带电的实际过程比上述描述要更复杂。摩擦带电的静电电荷量与接触的面积、分离的速度、空气相对湿度和材料的化学性质等很多因素有关。静电电荷可能会从原表面转移,形成EsD。其他的因素,如放电电路的阻抗,接触表面的接触电阻都会影响到放电的电荷量大小。