由于硅的电极电位低于铜,硅能从硫酸铜(CusG)溶液中把Cu置换出来,而且又由于n型⒏的标准电极电位低于p型s的标准电极电位,因此,先在n型⒊上先析出Cu, FFPF08S60STU表面上形成红色Cu镀层,这样就把pll结明显地显露出来。染色时间不能过长,以避免整个硅片都染上铜色,分辨不出pn结的边界位置。

   CuS(|溶液的配比:CuSC,:48%HF:H20=5g:2mI冫:50mI'。染色液中加人少量HF,目的是为了把硅片表面的氧化物先除去,使染色反应能顺利进行。

    测量仪器与试剂

   测量仪器与试剂有带微米尺的显微镜,磨角器,电炉,白炽灯,坩埚钳,瓷盘和玻璃板;三氧化二铝(A圮03)磨料,松吞;分析纯的Cu&)1。5H2Θ、HF、滤纸、乙醇棉球。

   测量步骤

   1磨角

   将磨角器放在电炉上加热,待磨角器温度高于松香熔化温度时,用坩埚钳取下磨角器,将被测小硅片用松香贴在磨角器上,贴法如图肛6中(a)所示,使pn结的交界线露在面上,磨角器用水冷却;然后,在玻璃上放好掺水的磨料,进行研磨抛光,直到露出斜面为止。

   2染色

   用乙醇棉球擦拭磨好的小硅片,从磨角器上取下,放人硫酸铜溶液中,白炽灯照射30s左右,注意观察,当发现n型区染上红色后,立即将硅片投人超纯水中清洗,再用滤纸吸干,待测。

   3结深测量

   将磨好的小硅片放在显微镜的载物台上,观察p11结,从目镜微米尺上直接读取与p区距离尺寸L;将测量值代人式Xi=0,0875L,换算出扩散结结深汛。

    思考题

   (1)染色时为什么要使用白炽灯照射?

   (2)分析测量误差的来源。