微电子芯片工艺步骤繁多,相互之M27C801-100F6间影响复杂,很难从最后测试结果准确分析得出影响产品性能与合格率的具体原因。所以在微电子芯片生产过程之中应进行工艺监控,通过置艺监控及时发现问题并解决问题,从而制造出参数均匀、成品率高、低成本、高可靠的芯片。

   所谓工艺监控就是借助于一整套检测技术和专用设备,监控整个生产过程,在工艺过程中,连续提取工艺参数,在工艺结束时,对工艺流程进行评估。工艺过程检测是指在硅片加工工艺线上设立的材料、工艺检测和评价体系。通过对某些特定项目进行定期或不定期的检测,以获得必要的关于材料质量和工艺参数的数据。目的是通过检测数据的及时反馈,使整条工艺线的控制达到最佳化,同时它也为追寻芯片生产中发生问题的原因提供重要的依据。因而过程检测是工艺线工程管理、质量管理、成品率管理和可靠性管理不可缺少的组成部分。工艺过程检测有下列关联作用式:工艺过程检测→检测结果的反馈→工艺优化→器件质量和性能提高器件生产问题→检验数据查询→确定问题的原因→问题的解决.