刻蚀前用锌块划破铬版表面,锌与稀硫ON5088酸立即产生活泼的氢原子,还原铬表面的氧化膜,紧接着活泼的铬与硫酸反应,铬层就能迅速被刻蚀掉。化学反应方程式为

   2Cr+3H2so1→Cr2(SO1)3+3H2

   实践证明,酸性锌接触刻蚀法对正性与负性光致抗蚀剂效果都很好,而且由于稀硫酸对光致抗蚀剂破坏很小,亥刂蚀后的硅针孔也小。

    湿法刻蚀设备

   湿法刻蚀工艺的没备主要由刻蚀槽、水洗槽和干燥槽构成,其装置结构示意图如图112所示。

   工艺不同,各槽的数目和结构有所不同。槽内气压控制较为重要,各刻蚀槽气压相等,且保持为负压,以防止刻蚀液雾进人洁净房。搬运部分的气压是大气压,刻蚀槽的气压低于大气压,水洗槽的气压比 刻蚀槽还要低一些。空气刀干燥槽的气压比大气压要高一点。各刻蚀槽、水洗槽前部有人口喷淋(Shower),液切风刀的位置在整个装置的最后部分。

    铝刻蚀槽1和铬刻蚀槽1或刻蚀槽2中都有控制刻蚀程度的终点探测器(End Pollt⒌mor,EPS),而ITO由于膜层透明,不能用EPS控制刻蚀程度。EPS是一个激光传感器,主要是通过透光量来控制刻蚀程度的。

    铝刻蚀装置中有紫外发射装置,其作用是为了分解有机物,提高浸润性,有利于栅极层的刻蚀形状。ITo刻蚀槽均采用倾斜5°搬送,这样可以使刻蚀时新旧药液置换速率加快,药液的浸润性更好,从而刻蚀速率加快,有利于刻蚀的均匀性及线宽控制,还能有效地节省药液。