在坚膜之后还需要对光刻胶进行光学稳定。通过光学稳定,使光刻胶在干法刻蚀过程中的抗蚀性得到增强,HAT2209R-EL-E而且还可以减少在离子注入过程中从光刻胶中逸出的气体,防止在光刻胶层中形成气泡。光刻胶的光学稳定是通过紫外光(UV)辐照和加热来完成的。正胶在受到UV辐照之后,DQ与酚醛树脂都会形成交叉链接。由于正胶吸收紫外光(UV)的能力很强,所以开始辐照时的UV主要被表层的光刻胶吸收。经过UV辐照和适度的热处理(110℃)之后,在光刻胶图形的表面上发生交联形成一层薄的硬壳。在表面形成硬壳之后,进一步的高温和UV照射过程可以使内部的光刻胶继续交联。在加热的同时,需要保持UV照射。而光学稳定过程中,在光刻胶表面形成的硬壳可以使光刻胶图形在高温过程中不会变形。

   光学稳定可以使光刻胶产生均匀的交叉链接,提高光刻胶的抗刻(腐)蚀能力,进而提高刻蚀工艺的选择性。经过UV光学稳定之后的光刻胶,其抗刻(腐)蚀能力可以增强40%。由于热稳定性得到了提高,就可以扩大刻(腐)蚀工艺的适用范围,而且使抗刻(腐)蚀能力更强。但是UV光学稳定处理并不是没有缺点,去除经过UV处理的光刻胶需要进行额外的一步工艺――光刻胶首先经过氧等离子体的灰化,然后通过湿法除去。