与扩散泵类似的还有分子泵
发布时间:2017/5/21 17:32:23 访问次数:727
与扩散泵类似的还有分子泵。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得 BCM5786KMLG定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级泵抽走的一种真空泵:分子泵有3种:①牵引分子泵,气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。②涡轮分子泵,是靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。如图⒏6所示是涡轮分子泵剖视图。③复合分子泵,是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。分子泵相对于扩散泵来说更清洁。
为获得清洁的超高真空,三级泵还常采用气体吸附泵,如低温泵、钛升华泵等。
与扩散泵类似的还有分子泵。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得 BCM5786KMLG定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级泵抽走的一种真空泵:分子泵有3种:①牵引分子泵,气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。②涡轮分子泵,是靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。如图⒏6所示是涡轮分子泵剖视图。③复合分子泵,是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。分子泵相对于扩散泵来说更清洁。
为获得清洁的超高真空,三级泵还常采用气体吸附泵,如低温泵、钛升华泵等。
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