在高温下,晶格原子在格点平衡位置附近振动。基质原子有一定的概率获得足够的能量脱离晶格格点而成为间隙原子,因而产生一个空位。 MAX2361ETM-B4A杂质进入晶体后,占据晶格原子的原子空位(空格点).在浓度梯度作用下,向邻近原子空位逐次跳跃前进。每前进一步,均必须克服一定的势垒能量。杂质原子由一个格点跳到相邻的另一个格点,替代原来的晶格原子从而在晶格中移动,如图51(a)所示,为此,要求相邻的位置必须是空位。另外,也可能扩散原子通过把它最近邻的替代原子推到近邻的间隙位置,并占据由此产生的空的替代位置来移动。总之,产生替位式扩散必须存在空位。

   对替位杂质来说,在晶格位置上势能相对最低,在间隙处势能相对最高,如图52所示是替位式扩散势能曲线。替位杂质在晶格格点位置上的势能相对极小,相邻的两个格点之间,对替位杂质来讲是势能极大位置,即替位杂质要从一个晶格格点位置运动到相邻的格点位置上,必须要越过一个能量势垒,势垒高度为Ws。根据对称性原理,替位杂质从一个格点位置运动到近邻格点上,并不需要消 耗能量,然而这种运动必须要越过这个势垒。

   尽管产生空位的具体方式可以不同,但在一定宏观条件下,达到统计平衡时的空位数目是一定的。平衡时单位体积的空位式中,N为单位体积晶格内所含的晶格数;Wv为形成一个空位所需要的能量。