粗硅的提纯是一系列物理化学过程。因为硅不K4S561632E-UC75溶于酸,所以粗硅的初步提纯一般用酸洗方法,先去除含量大的铁、铝等金属杂质;进一步的提纯一般采用蒸馏方法,而蒸馏方法只能提纯液态混合物,所以需要将酸洗过的硅转化为液态硅化物,提纯后再将液态硅化还原,由此得到电子级高纯度的多晶硅,纯度达99.9999999%以上,即11N硅。

   酸洗是一种化学提纯方法,用盐酸、工水、氢氟酸等混合强酸浸泡、清洗粗硅,溶解去除粗硅中的铁、铝等主要金属杂质。初步提纯后,硅的纯度可达99.7%以上。蒸馏提纯是一种物理提纯方法,是利用液态物质沸点不同进行液态混合物提纯的方法。首先,将酸洗过的硅氧化生成液态硅化物,可用盐酸或氯气作为氧化剂,将硅转化为⒏HC圮或⒏C辶。常温下⒏HC1和⒏C辶都是液态,⒏HC廴的沸点为31,5℃,SiCh的沸点为57.6℃。然后,通过在蒸馏塔中蒸馏提纯sHC廴或sC1】,得到高纯度的SlHC辶或⒊C1流出物。最后,还原已提纯的sHC1或⒊C1。氢气易于净化,且在硅中溶解度极低,因此多用氢气作为sHC辶或sC辶的还原剂,还原得到硅。