Ptsi探测器阵列是目前可实用的最大规模的红外图像传感器,已生产的产品方形结构面阵可达10z×10⒛元, FAS466/2405176矩形结构最大娲0ד0元。还有带16行或4行TDI功能的⒛鲳元和细%元长线列器件。PtSi探测器阵列除铟柱互连的混成结构外,还有将信号处理电路做在探测器/读出芯片四周的单片结构。

   Pt⒏探测器可以做成大阵列,响应均匀性好,成品率也高,许多Pt⒏热像仪现已商售。Pt⒏的光谱响应或量子效率随波长呈指数衰减,在4um~5um光谱区,PtSi器件的量子效率是很低的,通常为0.1%~1%。因此,Pt⒊不适合在低背景应用场合。

   In乩探测器

    光伏In乩是gOK下中波波段性能最佳的一种探测器。IllSb材料是高度均匀的材料, 再与平面注人工艺相结合能使阵列响应率的均匀性最佳。现已有多种扫描和凝视用InSb阵列产品。

   温度增加,Insb的光谱响应向长波方向移动。但随着工作温度的提 高,I谓b器件的热噪声迅速增加。尽管如此,在高背景下,工作温度升到145Κ还是可行的。Insb器件对卫星应用是十分有效的,因为在卫星上依靠辐射制冷就可以实现这样的低温条件。

   InSb光伏探测器是中红外波段常用的高性能器件,响应快,灵敏度高,已用于多种全向攻击性红外导弹。这种器件的灵敏度随工作温度降低而提高,在刀K时响应率最大,且比同温度下的光电导器件约高一倍;响应也比光电导器件快。但其工艺更难――增加成结工艺和形成P-N结台面工艺。