近十几年来工程领域的加工精度已达到0.1斗m，甚至0. 01 ym的水平。它对测M29W320ET-70N6量技术提出了更高的要求，迫切需要开拓新的测量手段，因此先后出现了各种纳米测量显微镜，如隧道显微镜的问世、原子显微镜的研制成功。为了准确测出这些纳米尺度测量显微镜的精度，还必须溯源到光的波长上，因此，迫切需要研制精度达到纳米和亚纳米级的干涉仪来实现纳米尺度的测量和标定，因而，又相继出现了精度可达到0. Inm的激光外差干涉仪和精度可达0.01nm的X光干涉仪。

   微电子技术的问世，不仅使计算机技术突飞猛进，也使光电检测技术有了更为广阔的应用空间。当前人们在生物、医学、航天、灵巧武器、数字通信等许多领域越来越多地要求微系统，因此微机电系统成为当前研究的一个热点。而微机电系统要求有微型测量装置，这样，微型光、机、电检测系统也就毫无疑问地成为重要研究方向。