红外光学系统的反射元件,如反射式物镜、扫描镜等,一般都要镀高反射膜。高反射M2022-ALPLD膜分金属膜和介质膜两种。铝、金、铑等是最常用的金属膜材料,它们在红外区域有很宽的高反射带。铝容易蒸发,能牢固地镀在玻璃甚至塑料上,且有良好的紫外、可见和红外反射特性。但是铝层表面易氧化,因此铝膜上还要加镀保护膜,通常选择镍作为保护膜材料。金膜在红外区的反射率最高,但不易镀在玻璃上,膜软且没有合适的保护膜,价格也较贵。

   由于存在吸收,金属膜的反射率有限,而用多层介质膜干涉增强的方法可以获得接近1OO%的反射。下面就简要介绍基于入〃膜层的高反射介质膜的基本原理。如图3-⒋所示,高反射膜可以表示为GHLHLHL・・・LHLHA,其中G为基底,A为空气(入射空间介质),H和L分别为高折射率和低折射率的入〃膜层。

   下面根据单层薄膜的等效折射率计算公式n”=谔/‰,从下向上以此计算膜系的等效折射率:

   GH膜系(1层膜)的等效折射率.

   GHL膜系(2层膜)的等效折射率.

   GHLH膜系(3层膜)的等效折射率.

   GHLHL膜系(4层膜)的等效折射率.采用归纳法可以得出,当H和L膜层的总数为偶数2Κ时,整个膜系的等效折射率由于而L<刀H,于是y9Κ(瓦G,即镀膜后基底的等效折射率降低,则根据公式(3-51)可知,镀膜后对入射光的反射率将减小。