图形化工艺是半导体工艺过程中最重要的工序之一
发布时间:2017/1/29 16:57:30 访问次数:798
图形化工艺是要在晶圆内和表面层建立图形的一系列加工,这些图形根据集成电路中物理“部件”(器件)的要求来确定其尺寸和位置。 AD8018AR-REEL7这一章介绍‘步基本图形化工艺流程的前4步,并讨论光刻胶的化学性质。
图形化工艺还包括光刻( Photolithography)、光掩模(Photomasking)、掩模(Masking)、去除氧化膜( Oxide Removal,OR)、去除金属膜(Metal Removal,MR)和微光刻(Microlithography)、,图形化工艺是半导体工艺过程中最重要的工序之一,它是用来在不同的器件和电路表面仁建立图形的工艺过程。这个工艺过程的目标有两个:
1.在晶圆中和表面上产生图形,这些图形的尺寸在集成电路或器件设计阶段建立.
2.将电路图形相对于晶圆的晶向及以所有层的部分对准的方式,正确地定位于晶圆上。
除了两个结果外,有许多工艺变化。或者限定晶圆表面层被去除部分(孔),或者限定晶圆表面层留下部分(岛)。
正确的放置彼称为各种电路图形的对准( Alignment)或注册(Registration)。一种集成电路工艺要求40个以上独立的光刻(或掩模)步骤。图形定位的要求就好像是一幢建筑物每一层之间所要求的正确对准。
图形化工艺是要在晶圆内和表面层建立图形的一系列加工,这些图形根据集成电路中物理“部件”(器件)的要求来确定其尺寸和位置。 AD8018AR-REEL7这一章介绍‘步基本图形化工艺流程的前4步,并讨论光刻胶的化学性质。
图形化工艺还包括光刻( Photolithography)、光掩模(Photomasking)、掩模(Masking)、去除氧化膜( Oxide Removal,OR)、去除金属膜(Metal Removal,MR)和微光刻(Microlithography)、,图形化工艺是半导体工艺过程中最重要的工序之一,它是用来在不同的器件和电路表面仁建立图形的工艺过程。这个工艺过程的目标有两个:
1.在晶圆中和表面上产生图形,这些图形的尺寸在集成电路或器件设计阶段建立.
2.将电路图形相对于晶圆的晶向及以所有层的部分对准的方式,正确地定位于晶圆上。
除了两个结果外,有许多工艺变化。或者限定晶圆表面层被去除部分(孔),或者限定晶圆表面层留下部分(岛)。
正确的放置彼称为各种电路图形的对准( Alignment)或注册(Registration)。一种集成电路工艺要求40个以上独立的光刻(或掩模)步骤。图形定位的要求就好像是一幢建筑物每一层之间所要求的正确对准。
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