对于较大直径晶圆，水平式BA05ST-V5反应炉是氧化设备的选择”。

   对于更大直径的水平式反应炉来讲，也会有相应的工艺问题。其中一个是如何保证气流是层流状态。层流状态(laminar gas flow)是均匀的、无气体分离的、不产生不均匀反应的湍流。

   这些考虑导致了垂直式反应炉( VTF)的开发，它选择更高的生产量、更大直径工艺的配置㈦，在这种配置里，炉管被设计成垂直状态，从底部或顶部装载晶圆，但炉管材料和加热系统与水平式反应炉一样。

   在垂直式反应炉中，更均匀的（层流）气流使得工艺均匀度得到加强。在水平式反应炉咀，蓖力会使混合的气体产生分离倾向。在垂直式反应炉中，气体平行运动，使重力造成气体分离的问题影响减到最小，舟的旋转使湍流产生的可能性减到最小。垂直式反应炉产生的工艺漂移量仅为水平式反应炉生产的60%15．

   伴随着水平式反应炉中石英舟容易产生的刮擦炉管内壁而产生颗粒的问题，在垂直式反应炉中被彻底解决了，并且洁净系统范围中需要的装卸区面积更小16。

   一个最具吸引力的方面是垂直式反应炉的占地面积很小。该系绕小于传统的4层系统。垂直式反应炉提供r在净化间外面装载晶圆的可能性，这只需让装载入口开在净化间内。在这种布局里，反应炉在净化间的占地面积为零。维修可以在维区进行。另一个可能_的布局是把垂直式反应炉按岛块／集群布置。几台反应炉围绕一个机械手分布，这个机械手可以分别给几台反应炉装片。这样设计更简单，设备可靠性更高，维修费用更低，正常运行时间更

长。垂直式反应炉可以配置成在晶圆制造中需要的氧化、扩散、退火和淀积的任一种工艺。