oLED显示器件的制备不管是实验室、中试,还是量产,其制各过程基本一致,主要E2009T区别在于器件的真空蒸镀设各上。实验室多选用手动的真空蒸镀设各进行单片样品蒸镀,以便于制作种类不同的实验样品;为了便于小批量产品的切换,中试线一般采用半自动的真空蒸镀设备进行连续的多片样品蒸镀;量产线一般采用全自动的真空蒸镀设备进行流水样品蒸镀(或采用线蒸镀技术与工艺),以提高良品率、降低产品成本。在量产线上用旋涂技术工艺进行生产OLED产品也在研究尝试中。

   oLED显示器件的制备工艺包括:ITO玻璃清洗艹光刻一再清洗→前处理→真空蒸镀有机层-真空蒸镀背电极→真空蒸镀保护层一封装→切割一测试→模块组装→产品检验及老化实验等十几道工序,其几个关键工序的工艺如下。