气相外延本质上是一种化学气相沉积,是将含有构成外延薄膜元素的气态前驱物或液态前驱物的蒸汽通过载气传输到反应室内,在维持一定高温的衬底表面上H9DP32A4JJACGR-KEM通过热分解与化学反应生成薄膜的过程。化学气相沉积的机理示意图如图5-10所示,沉积过程主要包括

   以下步骤:

   ①气相前驱物随载气(一般为超纯N2或超纯H2)传送至沉积区域;

   ②前驱物通过气流边界层扩散到衬底表面;

   ③前驱物在衬底表面吸附;

   ④表面化学反应,包括前驱物化学分解,表面迁移和目标产物成核生长;

   ⑤副产物从衬底表面脱附(解吸附);

   ⑥副产物扩散至边界层并进入主气流并被载气带出沉积区域。