平整的金属薄膜可以用作反射镜,金(Au)、银(Ag)、铝(川)、镍(№)是几种常用的材料,部分材料的光谱反射率曲线表示在图⒍26上。 AC1501-12P5AL铝是从紫外到红外都有很高反射率的唯一材料,银膜在可见区和红外区都有很高的反射率,而且在倾斜使用时引入的偏振 效应也最小;金的抗氧化性较好,在红外区的反射率很高,它的强度和稳定性比银膜好。金属反光镜的反射率可达到90%以上,但是实际制作中

经退火工艺后,反射率就会降低。

   Ⅺm,Sun-K,/Llng等人卩叨报道了基于金属反射镜的AlC1aInP光子晶体LED,光子被以高反射率、低吸收的与光子晶体稳固接触的衬底Ag反射镜发射,增强了LED的光提取。

   Ya-Ju Lce等人u㈣报道了蓝宝石衬底A⒗aInPLED采用如图6ˉ27所示的4种带有Ag反射镜结构的器件,其中图(a)平面Ag反射镜(LED-A),图(c)平面Ag反射镜和表面粗化结构(LED-C)和图(d)图形化的Ag反射镜Ag和表面粗化结构(LED-D)。图形化的Ag反射镜用来直接提取在A⒗aInP LED和蓝宝石衬底之间来回反射的光,让这些光从表面射出,而且自由分布在表面的粗化结构进一步增强了芯片内部光被波导出芯片有效地进入空气。结果LED-A,LED-B,LED¨C和LED-D这4种LED的外量子效率在F350111A时分别为PF9。⒛%,9F10.46%,rF15。⒛%和rF16,75%。通过图⒍27所示的这4种结构器件的光学模型和光子发射到表面的路线图,解释了LEDˉD比LED-A外量子效率提高了1,82倍的原因。