具有表面ITo纹理化图形的LED
发布时间:2016/8/8 20:55:41 访问次数:829
从图5-39也看出,虽然PS小球的尺寸很均匀,但它很难均匀的涂在ITo的表面,即ITo表面有局部区域没有PS小球作为掩膜,在蚀刻时会将大块的ITo蚀刻掉。FM24V05-G因此很早期就有人想到用周期性的光罩对ITo进行掩膜做出纹理化图形。Shyi-Ming Pan等人阝l]通过光刻和干法刻蚀制备了3um×3um的表面纹理化ITo。其工作电压与平面ITo样品几乎一致。其制备后的LED结构图以及ITo纹理化图形如图5-40所示。这种方式能够一定程度提高光提取效率,但是较为有限。
从图5-39也看出,虽然PS小球的尺寸很均匀,但它很难均匀的涂在ITo的表面,即ITo表面有局部区域没有PS小球作为掩膜,在蚀刻时会将大块的ITo蚀刻掉。FM24V05-G因此很早期就有人想到用周期性的光罩对ITo进行掩膜做出纹理化图形。Shyi-Ming Pan等人阝l]通过光刻和干法刻蚀制备了3um×3um的表面纹理化ITo。其工作电压与平面ITo样品几乎一致。其制备后的LED结构图以及ITo纹理化图形如图5-40所示。这种方式能够一定程度提高光提取效率,但是较为有限。
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