此外还有二级真空泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影像。ADS7843E观察研究薄膜的微观结构,对TEM样品的质量要求很高,因此透射电镜制样对于电镜工作者来说就显得非常的重要。为全面研究薄膜结构,通常需要制各截面样品和平面样品。下面对TEM样品的制备进行简单介绍。

   为了观察薄膜材料的横截面和界面结构,就需要制备截面样品。图⒈33是透射电镜测试的样品的制备流程图。制备截面样品如右图所示[49⒈①用盘锯将样品切割成3mm×6mm的长方形小片;②用丙酮清洗干净,然后将两个小片有薄膜的面对粘,形成三明治结构然后用砂纸手工水磨,直到样品厚为80um以下;③继续减薄,直到样品最薄的区域小于90um为止;④将样品粘在直径为3△lm的铜环上,然后放入离子减薄仪中,用双枪对样品两侧同时进行减薄,直到样品穿孔。在减薄的过程中,样品要尽量的薄,样品如果不够薄,则在减薄仪中用离子减薄的时间太长,导致薄膜晶化。这样的样品,无法在电镜下观察。